基本参数
- 产地北京
- 品牌
- 产品型号
- 产品操作
- 产品应用范围
- 产品材料等级
- 产品表面处理
产品简介:
产品详情:真空泵的选择
真空泵的功用是从真空腔室中去除气体分子并减低真空腔室中的气压惠州真空泵,以使其达到所需的真空度。大气达到极高的真空度。到目前为止,尚无真空系统可以遮盖该范围。为实现这一配置,旋片真空泵公司在选择真空系统时应考虑以下几点:
在确定过程所需的真空度的基本上,检验真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的工作真空度。通常,极限真空度比系统的工作真空度比后备泵的极限真空低20%50%。
正确组合真空泵。由于真空泵有着选择性泵送功用,因此有时一种类型的泵无法满足泵送要求。负极溅射离子泵价钱的旋片需要组合多个泵并互相补充才能满足泵送要求。(或两极不对称真空泵)对氩气有一定的抽速,真空泵dealer旋片类型,两者的结合将使真空设备获取更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要先行抽真空。一些真空泵的出口压力小于大气压,并且需要前级泵,因此需要将它们组合用到。
真空装置对油污染的要求如果严苛要求装置无油,则应选择各种无油泵,例如:水环泵,分子筛吸附泵,溅射离子泵,低温泵等。要求不严苛,可以选择配置油泵,外加一些防油污措施,例如冷阱,隔板,集油器等,这些也可以满足干净真空的要求。
真空泵使用范围
由于真空泵有着不同的工作压力范围和启动压力,因此在选择真空泵时须要满足这些要求。表3-1显示了各种常用真空泵的工作压力范围以及该泵的启动压力值以供参考。
表3-1常用真空泵工作压力范围和起始压力
真空泵类型工作压力范围(Pa)启动压力(Pa)
活塞式真空泵1×100000〜1.3×1001×100000
旋片式真空泵1×100000―6.7×0.11×100000
水环式真空泵1×100000―2.7×10001×100000
罗茨真空泵1.3×1000―1.31.3×1000
涡轮分子泵1.3―1.3×0.000051.3
蒸气喷射泵1×100000―1.3×0.11×100000
油扩散泵1.3×0.01―1.3×0.00000011.3×10
油蒸气喷射泵1.3×10―1.3×0.01<1.3×100000
分子筛吸附泵1×100000―1.3×0.11×100000
溅射离子泵1.3×0.001―1.3×0.0000000016.7×0.1
钛升华泵1.3×0.01―1.3×0.0000000011.3×0.01
锆铝吸气剂泵1.3×10―1.3×0.000000000011.3×10
低温泵1.3〜1.3×0.000000000011.3〜1.3×0.1
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